Ključna razlika između mikro analize i polumikro analize je u tome što se mikro analizom koristi za analizu materijala s masom manjom od 10 mg, dok se polu mikro analizom koristi za analizu materijala s masom od oko 100-500 mg.
Mikro i polumikro analiza dvije su vrste kvalitativne analize, a to je analiza materijala na temelju njihovih svojstava umjesto njihovih količina. Mikro analiza odnosi se na analizu materijala koji ima veličine čestica u mikromjeru. Za mikro analizu mogu se koristiti različite metode. S druge strane, polumikro analiza razvijena je metoda mikro analize.